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        鈦圓靶

        適用于濺射鍍膜,在半導體芯片,MEMS傳感器,光電器件,寬禁帶半導體,石墨烯等行業領域廣泛應用。

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        產品詳情

        中國牌號:TA1,TA2,TA3,TA9,TA10,TC4,TC11.

        美國牌號:Gr1,Gr2,Gr3,Gr7,Gr11,Gr5.

        中國標準:GB/T 16598,GB/T2965.

        美國標準:ASTM F2113,ASTM F1512.

        加工工藝:鍛造,軋制。

        表面:車光,倒角,表面清潔光滑,無起皮,氣孔,裂紋等缺陷。

        規格:φ100×40,φ98×40,φ95×45,φ90×40,φ85×35,φ65×40.

        化學成分:

        Grade

        N

        C

        H

        Fe

        O

        Al

        V

        Pb

        Mo

        Ni

        Ti

        TA1/Gr1

        0.03

        0.08

        0.015

        0.2

        0.18

        /

        /

        /

        /

        /

        Balance

        TA2/Gr2

        0.03

        0.08

        0.015

        0.3

        0.25

        /

        /

        /

        /

        /

        Balance

        TA3/Gr3

        0.05

        0.08

        0.015

        0.3

        0.35

        /

        /

        /

        /

        /

        Balance

        TA4/Gr4

        0.05

        0.08

        0.015

        0.50

        0.40

        /

        /

        /

        /

        /

        Balance

        TC4/Gr5

        0.05

        0.08

        0.015

        0.4

        0.2

        5.5-6.75

        3.5-4.5

        /

        /

        /

        Balance

        TA9/Gr7

        0.03

        0.08

        0.015

        0.3

        0.25

        /

        /

        0.12-0.25

        /

        /

        Balance

        TA18/Gr9

        0.03

        0.08

        0.015

        0.25

        0.15

        2.5-3.5

        2.0-3.0

        /

        /

        /

        Balance

        主要應用:適用于濺射鍍膜,在半導體芯片,MEMS傳感器,光電器件,寬禁帶半導體,石墨烯等行業領域廣泛應用。


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        沈陽瑞特鈦鎳科技有限公司
        電話: +86 13709850972 / 024-25558500
        網址:http://www.dlbc.net.cn 郵箱:sales@rttini.com
        地址:沈陽經濟技術開發區大潘中路127號
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